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“魔镜”检测方法已被有效地应用于镜状表面缺陷的检测．在本文中，我们基于“局域波面畸变”概念，发展了晶体缺陷的“魔镜”检测原理，并提出了两种分别用于晶体表面及内部缺陷的无损检测方法．用这些方法，我们分别观测到硅外延片上的多种典型缺陷图样，以及ＬｉＮｂＯ３；Ｆｅ晶体中光伤点等缺陷．
晶体不均匀性的“魔镜”诊断方法
【摘 要】
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“魔镜”检测方法已被有效地应用于镜状表面缺陷的检测．在本文中，我们基于“局域波面畸变”概念，发展了晶体缺陷的“魔镜”检测原理，并提出了两种分别用于晶体表面及内部缺陷的无
【机 构】
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南开大学物理系
【出 处】
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南开大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年04期
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