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报告了氢化物气相外延技术中，在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响。实验发现生长气氛中氛的存在会显著改进材料的质量，这种作用被归之于氢气氛下氮气在气相中的反应下降以及生长表面较低的氮的活动能力。
氢化气相外延氮化镓生长中气氛的作用研究
【摘 要】
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报告了氢化物气相外延技术中，在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响。实验发现生长气氛中氛的存在会显著改进材料的质量，这种作用被归之于氢气氛下氮气在气相
【机 构】
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南京大学物理系,美国威斯康辛工程系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2000年4期
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