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介绍了CF4定性定量分析方法,探讨了CF4的来源及清除.
氪气和氙气中四氟化碳杂质分析
【摘 要】
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介绍了CF4定性定量分析方法,探讨了CF4的来源及清除.
【机 构】
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武钢氧气有限责任公司
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2005年5期
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