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针对微细超声波加工中工具损耗严重的问题，分析了其中可能造成工具快速损耗的原因。这些原因主要有工具和工件的直接撞击作用、磨粒的撞击作用、磨粒的切削和刮擦作用、超声空化作用及化学腐蚀作用。通过设计加工实验，用单一因素控制法对这些原因的影响效果进行分析，最后得出磨粒的高频撞击作用是造成微细超声波加工中工具损耗的主要原因。