【摘 要】
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提出应用静电力矩反馈的方法解决一种新型转子式陀螺的欠阻尼问题.设计了静电 力矩反馈的机械结构,并对其进行了建模分析以及有限元仿真验证.通过对比不同反馈条件 下陀螺的
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,清华大学精密仪器系
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提出应用静电力矩反馈的方法解决一种新型转子式陀螺的欠阻尼问题.设计了静电 力矩反馈的机械结构,并对其进行了建模分析以及有限元仿真验证.通过对比不同反馈条件 下陀螺的动态响应发现,该方法可以显著改善陀螺的动态特性.随着反馈电压的增加,陀螺系 统从欠阻尼状态无限趋近临界阻尼状态.考虑到介质击穿的限制以及反馈强度对幅频特性的 影响,最终确定反馈电压应设置在100 V 附近.此时,系统单位阶跃响应的过冲由开环时的 87% 以上降低到约5%, 稳定时间由1.3 s 缩短为0.1 s 左右.
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