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针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求，尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理，研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明：微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容／数字转换器（CDC）AD7747芯片，分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序，实现了微小电容的采集和处理，简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明：电容式微触觉测头的分辨率为0．02μm，重复性较好