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用射频磁控溅射法，在Pt／Si基片上制备了立方烧绿石结构的Cd掺杂Bi1．5 Zn0.7 Cd0.3 Nb1.5O7（BZCN）薄膜。研究了衬底温度对薄膜结构、表面形貌以及介电性能的影响。结果表明，沉积温度为600℃，退火温度为700℃制备的薄膜，在测试频率为100kHz，测试电场强度为1．33×10^6V／cm的条件下，介电可调率达到11．8％，tanδ小于0．0042。