【摘 要】
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介绍了ACT涂胶显影台高精度热板的温度控制原理并提出了温度测量方法,结合实际案例对其验证。结果表明这种测量方法可以达到较高精度,能够满足关键工艺要求。另外还介绍了其
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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介绍了ACT涂胶显影台高精度热板的温度控制原理并提出了温度测量方法,结合实际案例对其验证。结果表明这种测量方法可以达到较高精度,能够满足关键工艺要求。另外还介绍了其拓展应用,效果很理想,不仅节约了成本,使机台及时恢复生产,而且工艺流程得到优化,大大提高了产能;同时完善了机台PM项目,定期对机台冷热板进行温度校准,排除隐患,对实际生产中的高精度热板温度校准有较强的指导作用。
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