【摘 要】
：
为抑制氧化镓晶片在研磨过程中的解理现象,通过NAKAMURA的方法,重新设计、研制一种黏弹性固着磨料新型研磨垫对氧化镓晶片进行研磨实验研究,对比分析其与传统铸铁研磨盘对单
【机 构】
：
盐城工学院机械工程学院,江苏大学机械工程学院,江苏吉星新材料有限公司
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目(51675457),江苏省产学研前瞻性创新资金项目(BY2016065-55),江苏省科技成果转化项目(BA2015165).
论文部分内容阅读
为抑制氧化镓晶片在研磨过程中的解理现象,通过NAKAMURA的方法,重新设计、研制一种黏弹性固着磨料新型研磨垫对氧化镓晶片进行研磨实验研究,对比分析其与传统铸铁研磨盘对单晶氧化镓研磨的材料去除率和表面质量的影响规律,结果表明:在同一研磨参数下,采用铸铁盘研磨时,晶片材料去除率较高,为358nm/min,研磨后晶片表面粗糙度Ra由初始的269nm降低到117nm,降幅仅为56.5%;而采用新型研磨垫研磨时,其材料去除率虽较低,为263nm/min,但研磨后晶片表面粗糙度Ra却降低至58nm,降幅达到78.4
其他文献
医院办公室文书档案管理是医院基础管理水平的重要体现,其涉及档案的收集、鉴定、分类、修改、装订、保管和利用等在内的一系列衔接有序的行为和过程。档案管理提升应从强化
文中结合具体工程实例介绍泡沫水泥填土法，其实用效果与经济效果均较佳。文内附有试验图表及实用数据，方法简便，可供设计施工参考。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
在连续梁或框架等超静定结构中,受弯构件的拐点对初步设计、校核计算机结果和探讨结构的性能,都是十分有用的。本文根据众所周知的“弯矩分配法”原理,提出了一种拐点的近似
友善是中华传统美德的重要内容,深入挖掘友善思想内涵、价值特征及在传统话语体系的作用,有利于正确认知传统治理理念和当下治国理政之"道"。回顾和审视友善思想对人们日常生
近年来,在我国教育不断发展的背景下,素质教育得到了全面的推行。这就要求在中学地理教学中,教师必须转变地理教学的传统观念,明确学生在教学中的主体地位,进一步创新课堂教
盐酸洛美沙星通过抑制细菌的DNA旋转酶的A亚单位，抑制DNA的合成和复制而起杀菌作用。对肠杆菌科细菌如大肠杆菌、志贺菌属、克雷伯菌属、变形杆菌属等具有高度的抗菌活性；流感
大蒜加工废水是食品加工业非常特殊的高浓度废水,COD高达数万毫克每升,大蒜加工废水中含有的大蒜素具有强杀菌作用,采用普通的活性污泥曝气法处理,难以做到达标排放,使得大批
一、绩效管理三大病症!癌症，软骨症，痴呆症这是绩效管理的三大病症。其中，“癌症”常常发生在企业的价值观、使命、愿景，以及战略上；“软骨病”则发生在企业体制、流程和组织上；“