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采用ROI_PAC软件处理汶川地震前后ALOS PALSAR 474轨道的4景影像,利用ERA-Interim资料和NeQuick电离层模型对其进行对流层和电离层延迟误差修正,得到地表垂直位移,并和5个GPS台站测量的地表沉降值进行比较,结果表明合成孔径雷达差分干涉测量(D-InSAR)得出的垂直位移和其经过对流层、电离层延迟改正后的垂直位移,与GPS实测值相比,前者差值平均值为0.104 m,后者差值平均值为0.057 m,说明加入对流层和电离层大气延迟误差改正后,D-InSAR的精度得到了提高。