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Influence of ultra-thin TiN thickness(1.4 nm and 2.4 nm) on positive bias temperature instability(PB

来源 :null | 被引量 : 0次 | 上传用户：hujinjinliang

【作 者】

：

祁路伟  杨红  任尚清  徐烨峰  罗维春  徐昊  王艳蓉 

【出 处】

：

null

【发表日期】

：

2015年10期

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