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利用四极质谱和离子能量分析器，测定了紫外激光刻蚀ＰＶＣ塑料产生的分子，原子和离子产物的质量分布和各种离子的平动能分布，研究了激光通量对刻蚀的影响，发现离子的产生需要比中性产物有更高的激光阈值，讨论了紫外激光对ＰＶＣ塑料的刻蚀剥离机理。
紫外脉冲激光泽聚氯乙烯（PVC）塑料刻蚀产物的研究
【摘 要】
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利用四极质谱和离子能量分析器，测定了紫外激光刻蚀ＰＶＣ塑料产生的分子，原子和离子产物的质量分布和各种离子的平动能分布，研究了激光通量对刻蚀的影响，发现离子的产生需要比中性产物
【机 构】
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华东理工大学化学物理研究室
【出 处】
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华东理工大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年1期
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