【摘 要】
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In superconducting circuit,microwave resonators and capacitors are crucial components,and their quality has a strong impact on circuit performance.Here we develop a novel wet etching process to define these two components using common photoresist develope
【机 构】
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NationalLaboratoryofSolidStateMicrostructures
【基金项目】
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Project supported by the National Key R&D Program of China(Grant No.2016YFA0301802),the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.61521001 and 11890704),the Key R&D Program of Gua
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In superconducting circuit,microwave resonators and capacitors are crucial components,and their quality has a strong impact on circuit performance.Here we develop a novel wet etching process to define these two components using common photoresist develope
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