【摘 要】
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松下技研与准分子激光器的大厂商人物理公司签订了设计高性能准分子激光器的共同开发合同。共同开发的激光装置是短波紫外光源，可在制造256MbitDRAM之类第二代半导体时用于分
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松下技研与准分子激光器的大厂商人物理公司签订了设计高性能准分子激光器的共同开发合同。共同开发的激光装置是短波紫外光源，可在制造256MbitDRAM之类第二代半导体时用于分步扫描曝光装置。为了形成小于0．25urn的图形，需要波长小于250nm的光源，故使用波长248nm的KrF准分
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