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S—450扫描电子显微镜故障两例
S—450扫描电子显微镜故障两例
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jchenghai
【摘 要】
:
S-450扫描电子显微镜故障两例黄冬英(中国医科大学电镜中心实验室,沈阳110001)例一、真空系统故障是电镜工作者常遇到的。在正常情况下,开机后20分钟即可达到真空度预定指标。本故障现象是:扩散
【作 者】
:
黄冬英
【机 构】
:
中国医科大学电镜中心实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
电子显微镜
SEM
真空系统
故障
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S-450扫描电子显微镜故障两例黄冬英(中国医科大学电镜中心实验室,沈阳110001)例一、真空系统故障是电镜工作者常遇到的。在正常情况下,开机后20分钟即可达到真空度预定指标。本故障现象是:扩散泵开始工作后,经过数小时仍达不到高真空,至使仪器无法工...
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