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提出了一种新的半导体激光定位技术。它利用多模半导体激光干涉条纹强度分布和双波长细分技术，用两个半导体激光器完成了零点的高精度动态定位。本文方法突破了传统白光定位的局限，简化了干涉仪的设计，实现了大范围的零点捕捉。定位精度达到０．０１μｍ。
一种新的半导体激光动态定位方法
【摘 要】
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提出了一种新的半导体激光定位技术。它利用多模半导体激光干涉条纹强度分布和双波长细分技术，用两个半导体激光器完成了零点的高精度动态定位。本文方法突破了传统白光定位的
【机 构】
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清华大学精仪系,清华大学精仪系,北京
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1996年1期
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