微机械惯性传感器

来源 :电子科技导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tnnd3

【摘要】

：

综述微机械惯性传感器的基本工作原理和典型的器件结构，展望它的未来发展趋势。

【作者】

：

李志宏杨振川

【机构】

：

北京大学微电子所

【出处】

：

电子科技导报

【发表日期】

：

1999年8期

【关键词】

：

微机械惯性传感器加速度计陀螺微电子机械系统

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综述微机械惯性传感器的基本工作原理和典型的器件结构，展望它的未来发展趋势。

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