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利用磁控溅射法在玻璃基片上制备Zn095Ca005O薄膜，用X射线衍射（XRD）研究薄膜的结构特性，用LS920荧光光谱仪测量了样品薄膜的PL谱，探讨了衬底温度对薄膜结晶质量和光学性质的影响。研究发现，衬底温度对薄膜的质量影响较小，450℃时制备的薄膜结晶质量最好；不同衬底温度对发光峰强度有影响；薄膜在可见光区显示出较高的透过性，在350－400nm范围内薄膜透过率骤然下降，在该范围内存在吸收边。