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采用电射流沉积技术在316L不锈钢基体上沉积二氧化钛(TiO2)薄膜,并对薄膜进行高温烧结处理;在无润滑条件下,对薄膜进行往复式摩擦磨损试验,研究了温度对薄膜晶相及形貌变化的影响及TiO2薄膜的摩擦学性能。结果表明:在电射流沉积条件为电源电压3.8~4.1kV、高度4mm、流量4μl/min时,可以制得均匀的TiO2薄膜;随着温度升高,TiO2晶体结构逐渐由锐钛相转变为金红石相;TiO2薄膜能有效提高316L不锈钢表面的减摩性能。