论文部分内容阅读
本研究工作采用硅离子注入和高温退火工艺对SIMOX材料的BOX层进行总剂量辐射加固。辐射实验结果证明了该加固方法的有效性。PL谱和HRTEM图像显示了硅离子注入及退火工艺在材料的BOX层中引入了Si纳米晶,形成电子陷阱能级,有效俘获电子,从而提高了材料BOX层的抗总剂量辐射能力。
硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固
【摘 要】
：
本研究工作采用硅离子注入和高温退火工艺对SIMOX材料的BOX层进行总剂量辐射加固。辐射实验结果证明了该加固方法的有效性。PL谱和HRTEM图像显示了硅离子注入及退火工艺在材
【机 构】
：
信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2011年2期
其他文献
利用聚乙烯吡咯烷酮（Polyvinylpyrrolidone，PVP）添加到勃姆石溶胶／纳米α—Al2O3粒子体系中形成纳米复合浆料，采用旋涂、热处理的过程制备出具有一定厚度的Al2O3绝缘涂层，结果表明：P
<正> 随着我国经济体制改革的深入进行和有计划商品经济的迅速发展,我国的租赁业取得了引人注目的发展。目前,在我国的租赁业中,作为出租人出现的已有38家不同形式的租赁机构
改革开放以来，我国城镇化速度大大加快，但是相当大一部分人口涌入大城市，引发难以根治的“城市病”，而中小城市和小城镇发展则严重滞后。城市化布局很不合理。由于中小城市和小城
<正> 一、机械行业流动资金占用的基本规律。第一机械工业局,近三年来工业生产企业定额流动资金的增长幅度与生产增长幅度基本一致。1983年比1982年产值增长7.49%,定额资金占
<正> 党的十一届三中全会以来,宝坻县的县办工业经过调整、整顿、改革稳步向前发展。经济效益不断提高。到1984年末,完成总产值4853.4万元。比七八年增长2.16倍,实现利润173
目的：探讨子宫动脉灌注与栓塞治疗输卵管妊娠的方法、疗效和临床应用价值。方法：分析86例输卵管妊娠患者的手术情况和术后情况。结果：本研究病例82例1次治愈，1例因彩超误差行二次
<正> 1985年六、七两个月,我们为了增加水产品库存,满足国庆节市场供应,分四次给天津水产供销公司贷款三百三十万元,购进水产品一千七百吨,还款日期订为九月三十日。在贷款到
基于Monte Carlo模拟，研究了准二维4×4量子点阵列中交换相互作用常数J、偶极相互作用常数D、磁晶各向异性常数K对自旋组态和相关磁特性的影响。模拟结果表明，量子点阵列和