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WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.
WC-0.5型微型真空泵的研制
【摘 要】
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WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.
【机 构】
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东南大学; 东南大学;
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2004年期
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