【摘 要】
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目前GT铸锭炉使用的是878mm×878mm×420mm坩埚和450kg的铸锭工艺。在装料的质量上由于坩埚尺寸原因而受到限制,同时由于铸锭工艺的原因导致生产出来的晶锭晶粒偏小,
【机 构】
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江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,东南大学能源与环境学院
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目前GT铸锭炉使用的是878mm×878mm×420mm坩埚和450kg的铸锭工艺。在装料的质量上由于坩埚尺寸原因而受到限制,同时由于铸锭工艺的原因导致生产出来的晶锭晶粒偏小,进而影响多晶硅片的转换效率。本文论述了通过采用定制的加高坩埚和全新的铸锭工艺来生产480kg晶锭,不仅增加了硅料的投炉质量,而且增大了晶锭中晶粒的尺寸,提高了多晶硅片的转换效率。通过对480kg与450kg铸锭工艺生产的晶锭数据进行对比后发现,前者的铸锭工艺要明显优于后者。
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