【摘 要】
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牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约,由扩散方程决定。扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变。文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法,由每一时刻溶液在具体
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牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约,由扩散方程决定。扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变。文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法,由每一时刻溶液在具体位置的浓度值得出扩散系数,再由Topography模型计算前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进的轮廓线。并编程对一些MEMS结构的释放过程进行仿真,最后给出实验验证。
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