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为改善钛合金(Ti6Al4V)的生物相容性,采用离子束辅助沉积(Ion beam enhanced deposition,IBED)技术制备了氧化钛膜层.结果表明:钛合金上的膜层涂覆均匀,基体的铝和钒元素已经探测不到,膜层为含氮和沿(111)面取向的TiO相;膜层划痕实验的临界载荷为16.8 N,膜层以塑性变形的方式破坏.