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采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源, H3PO4为桥联剂, H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究,结果表明,在成胶过程中, H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒的表面羟基,提高了SiO2的反应活性;而在焙烧过程中, H3PO4通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与 SiO2胶粒及玻璃基底表面的 Si-OH 进行了脱羟基缩聚,构架了坚固的Si-O-P网络交联,最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构,提