【摘 要】
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以低气压放电产生的低温等离子体包含有丰富的活性粒子(激发态原子、离子、电子等),能产生各种能量的辐射线,因而可以引起种种物理化学反应.低气压放电低温等离子体乃是非平
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以低气压放电产生的低温等离子体包含有丰富的活性粒子(激发态原子、离子、电子等),能产生各种能量的辐射线,因而可以引起种种物理化学反应.低气压放电低温等离子体乃是非平衡的等离子体,包含的粒子具有不同的温度.如射频辉光放电产生的低温等离子体,其电子温度 Te≈104K,而气
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