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期刊论文
基于硅结构的微流体控制系统
基于硅结构的微流体控制系统
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:spirithero
【摘 要】
:
基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微
【作 者】
:
程秀兰
蔡炳初
徐东
陈鉴
王莉
【机 构】
:
上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
硅结构
微流体
控制系统
微机电系统
传感器
微型泵
微型阀
MEMS
s:MEMS
micro fluidic controlling system(μFC
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基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状,同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状.
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