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用原子力显微镜，观察了sol-gel法制备之掺Al的ZnO薄膜的表面形貌，计算了薄膜的表面高度-高度相关函数H（r）-r,并用分形表面高度-高度相关函数的唯象表达式，对薄膜表面高度-高度相关函数进行拟合。结果表明：掺Al的ZnO薄膜表面具有典型的分形特征，Al掺杂量的增加和退火温度升高，使掺Al的ZnO薄膜的表面粗糙度W从1．39增大到5．47，分形维数Df由2．12减小到2．08，水平相关长度ξ从31．25增到76．17。