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采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,采用相同方法在LaNiO3/Si(100)上制备了Pbb(Zr0.3,Ti0.7)O3薄膜,对LaNiO3薄膜和Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3薄膜的结晶性,表面形貌和电性能进行了研究.
以LaNiO3作为底电极的Pb（Zr0.3,Ti0.7）O3铁电薄膜的性能研究
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,采用相同方法在LaNiO3/Si(100)上制备了Pbb(Zr0.3,Ti0.7)O3薄膜,对LaNiO3薄膜和Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3薄膜的结晶性,表面形貌和
【机 构】
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河南大学物理与信息光电子学院,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室
【出 处】
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河南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2003年1期
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