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超磁致伸缩薄膜材料及其应用
超磁致伸缩薄膜材料及其应用
来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwerdfhkotfd
【摘 要】
:
超磁致伸缩薄膜是一种应用于微型机电系统及传感器的新型材料 ,它具有很高的机电耦合系数、较高的响应速度以及非接触式驱动等优点。对磁致伸缩薄膜的研究现状进行了综述 ,介
【作 者】
:
谢海涛
斯永敏
杨德明
刘希从
【机 构】
:
国防科技大学材料工程与应用化学系!长沙410073
【出 处】
:
中国有色金属学报
【发表日期】
:
2000年S1期
【关键词】
:
超磁致伸缩
薄膜
材料
giant magnetostrictive
thin film
material
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超磁致伸缩薄膜是一种应用于微型机电系统及传感器的新型材料 ,它具有很高的机电耦合系数、较高的响应速度以及非接触式驱动等优点。对磁致伸缩薄膜的研究现状进行了综述 ,介绍了磁致伸缩薄膜的制备方法 ,性能特征及应用前景。
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