JEM—1200EX电子显微镜真空泄漏故障一例

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我院于1985年购进一台日本JEOL生产的JEM-1200EX电子显微镜,至今已使用15年了.现就最近发生的电镜照相室真空泄漏一例及排除方法报告如下,供同行参考.日本电子公司是世界上最著名的电镜制造商之一,JEM-1200EX电子显微镜是该公司80年代初开发的产品.该型电镜的主要特点是在电镜的运行管理上采用了单板微机程序控制,提高了电镜的自动化操作程度,真空系统实现了自动化运行.
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