【摘 要】
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本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦.波导的耦合阻抗在140GHz时为5欧姆左右.CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140GHz处的功率增益为24.6dB.该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容.通过SU-8 UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工.测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240
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本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦.波导的耦合阻抗在140GHz时为5欧姆左右.CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140GHz处的功率增益为24.6dB.该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容.通过SU-8 UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工.测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21分别为-28dB和-1.2dB.实测的输出功率增益达到23dB.测试结果和仿真结果的一致性表明该弯折波导设计的合理性,同时也验证了多步SU-8 UV-LIGA工艺可以实现对该波导的高精度加工.
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