【摘 要】
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简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件.利用XRD分析了SnO2薄
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简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件.利用XRD分析了SnO2薄膜的晶体结构.通过控制喷打墨水的次数,方便地控制了最终薄膜的厚度.并初步探讨了喷墨打印次数对最终薄膜元件性能的影响.当薄膜只喷打一次时,具有极高的电阻值,而且灵敏度比较低.而随着喷打次数的增加,即薄膜厚度的提高,薄膜电阻也随之降低,并对乙醇具有较好的气敏性能.
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