AlGaN MSM紫外探测器

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【摘要】

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用通过MOCVD生长的未掺杂的n-Al0.3Ga0.7N制备了金属-半导体-金属（MSM）结构紫外探测器.器件在2.5V偏压时的暗电流为1pA,在6.5V偏压时的暗电流为1nA.在1V偏压下和298nm波长处,探

【作者】

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成彩晶鲁正雄司俊杰陈志忠张国义孙维国

【机构】

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中国空空导弹研究院,北京大学物理系

【出处】

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红外

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

MSM 暗电流响应率光谱响应 MSM dark current responsivity photoreponse

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用通过MOCVD生长的未掺杂的n-Al0.3Ga0.7N制备了金属-半导体-金属（MSM）结构紫外探测器.器件在2.5V偏压时的暗电流为1pA,在6.5V偏压时的暗电流为1nA.在1V偏压下和298nm波长处,探测器的电流响应率为0.038A/W,在300nm波长处有陡峭的截止边,这与文献中介绍的AlxGa1-xN探测器在x=0.3时截止波长为300nm相一致[1].

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