Micro—nano electromechanical system by bulk silicon micromachining

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zmhao

【摘要】

：

1　Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　　ＭＥＭＳ (ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ )ｂａｓｅｄｏｎｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｌａｙｓｉｍｐｏｒｔａｎｔｒｏｌｅｓｆｏｒｅｘａｍｐｌｅｉｎｔｈｅｐｅｒｉｐｈｅ 1 Introduction MEMS (MicroElectroMechanicalSystem) based on semiconductormicrofabricationplaysim portantrolesforexampleint

【作者】

：

Masayoshi Esashi Takahito Ono

【机构】

：

New Industry Creation Hatchery Center (NICHe),Graduate School of Engineering,Tohoku University Senda

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2002年06期

【关键词】

：

微纳电械系统 MEMS 体硅微加工工艺

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