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为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性，采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al(1 wt.%Si)/Zr多层膜，并将这些样品分别进行了不同温度(100~500 ℃）的真空退火，退火时间为1 h。利用X射线掠入射反射(GIXR)和X射线衍射(XRD)的方法来研究Si间隔层对Al/Zr多层膜热稳定性的作用。GIXR测量结果表明：随着Si间隔层厚度的增大，Al膜层的粗糙度减小，而Zr膜层的粗糙度增大；XRD测量结果表明：Al和Zr膜层粗糙度的变化是由于退火后膜层中晶粒尺寸不同造成的。相比于没有Si间隔层的Al/Zr多层膜，引入厚度为0.6 nm的Si间隔层可以有效提升Al/Zr多层膜的热稳定性。