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根据半导体激光器光注入调制理论和实验，基于不同光注入条件下的频率调制特性，提出了三种半导体激光器光频调制的具体方案。通过使用给出的光强反馈及电路控制方法，能使半导体激光器在其光频受调制期间，其输出光强的变化的范围大幅度减小。这些半导体激光器光频调制的方法用于干涉测量系统中，能极大地减小光强波动对测量精度的影响，可实现纳米级的高精度激光干涉测量。