【摘 要】
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微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用的基础技术。文章首先阐述微电子机械系统概念与特点,进而对其技术类别进行了简要介绍,最后对微电子机械技术的应用进行了分析,包括环境科学领域、军事领域以及医疗领域,以期更大程度的发挥微电子机械系统技术的价值。
【机 构】
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中国科学院长春精密机械与物理研究所
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微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用的基础技术。文章首先阐述微电子机械系统概念与特点,进而对其技术类别进行了简要介绍,最后对微电子机械技术的应用进行了分析,包括环境科学领域、军事领域以及医疗领域,以期更大程度的发挥微电子机械系统技术的价值。
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