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离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：weiwu

【作 者】

：

江炳尧  任琮欣  郑志宏  柳襄怀  樊会明  姚刘聪  李玉 

【出 处】

：

中国有色金属学报

【发表日期】

：

2003年12期

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