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加速器的电子枪、加速管和速调管等器件要求在高真空条件下工作.本文介绍加速中的钛溅射离子泵的原理、结构和维护方法.
加速器钛泵的原理和维护
【摘 要】
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加速器的电子枪、加速管和速调管等器件要求在高真空条件下工作.本文介绍加速中的钛溅射离子泵的原理、结构和维护方法.
【机 构】
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南方医院仪器科
【出 处】
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医疗设备信息
【发表日期】
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2003年10期
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