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本文设计了一种新型全息光学测头，这种测头通过新型全息光学元件（ＮＨＯＥ），将被测表面的两个测点的信息综合在一个接收器上，利用自补偿原理，消除了被测表面相对光轴倾斜对测量结果的影响。
新型全息光学测头的研制
【摘 要】
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本文设计了一种新型全息光学测头，这种测头通过新型全息光学元件（ＮＨＯＥ），将被测表面的两个测点的信息综合在一个接收器上，利用自补偿原理，消除了被测表面相对光轴倾斜对测量结果的影响。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1998年4期
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