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通过水热法使TiO2纳米棒阵列直接生长在叉指电极之间,并制备成湿度传感器。纳米棒疏松多孔,直径大约20 nm,长度1μm。在相对湿度6%-97%RH的范围内传感器的电阻变化达3个数量级,感湿曲线的线性较好,湿滞较小。由于纳米棒生长方向一致,形成了许多有利于水分子进出的水汽通道,有效提高了传感器的响应特性,该传感器的响应时间为2 s,恢复时间为6 s。