【摘 要】
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【正】 以硅片为核心的微电子技术的迅猛发展和普及应用正在引起一场新的技术革命,这是众新周知的,但是,利用硅片制作微型机械装置并不为众人所知。硅微半级线度加工工艺,已
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【正】 以硅片为核心的微电子技术的迅猛发展和普及应用正在引起一场新的技术革命,这是众新周知的,但是,利用硅片制作微型机械装置并不为众人所知。硅微半级线度加工工艺,已使很小的硅片集成数十万、上百万个电子元件。借鉴微电子学固态工艺技术,在硅片上又可精雕细刻优美精致的显微机械装置。硅作为机械装置材料,最初因它的脆性不为人所接受。后来的研究证明,硅是相当坚固耐用的,比现今最好的钢材还要好,而且是一种
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