【摘 要】
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采用室温磁控溅射技术在钛合金（Ti6Al4V）表面制备SiC/TiB2-TiN双层薄膜,SiC为中间层,研究了TiB2-TiN复合薄膜的组织结构和摩擦磨损性能。结果表明,TiB2-TiN复合薄膜具有纳米尺
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采用室温磁控溅射技术在钛合金（Ti6Al4V）表面制备SiC/TiB2-TiN双层薄膜,SiC为中间层,研究了TiB2-TiN复合薄膜的组织结构和摩擦磨损性能。结果表明,TiB2-TiN复合薄膜具有纳米尺度颗粒（畴）的微结构特征,SiC薄膜与基材和TiB2-TiN复合薄膜间都具有明显且呈梯度的元素扩散;在载荷200g、室温Kokubo人体模拟体液条件下,与氮化硅（Si3N4）球（直径4mm）对摩,其平均摩擦系数约为0.22,磨损速率在10-6 mm3/（m.N）级;并且TiB2-TiN复合薄膜对Kokub
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