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采用灯丝热解化学气相沉积方法，在不同的碳源气体氢气中合成金刚石薄膜，并研究不同工艺条件下金刚石膜生长速率。结果表明，在较低的灯丝分解气体温度和较近的灯丝与衬底距离条件下，以丙酮为碳源气体合成的金刚石膜具有 的生长速率的较好的质量。
丙酮对金刚石膜生长速率的影响
【摘 要】
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采用灯丝热解化学气相沉积方法，在不同的碳源气体氢气中合成金刚石薄膜，并研究不同工艺条件下金刚石膜生长速率。结果表明，在较低的灯丝分解气体温度和较近的灯丝与衬底距离条件
【机 构】
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吉林大学超硬材料国家重点实验室,130023
【出 处】
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吉林大学自然科学学报
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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国家教委博士点基金
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