【摘 要】
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以自由电子运动的速率方程模型为基础，研究了飞秒脉冲激光对绝缘材料的烧蚀机理，考虑了等离子体对激光能量的吸收效应，建立了激光强度与电子数密度及等离子体吸收系数三者相互耦
【机 构】
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东南大学机械工程学院,MEMS教育部重点实验室
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以自由电子运动的速率方程模型为基础，研究了飞秒脉冲激光对绝缘材料的烧蚀机理，考虑了等离子体对激光能量的吸收效应，建立了激光强度与电子数密度及等离子体吸收系数三者相互耦合的数学模型，计算出飞秒激光烧蚀绝缘材料时的烧蚀阈值，分析了考虑等离子体吸收效应对烧蚀阈值的影响，通过与不考虑等离子体吸收所得结果相比较说明该效应是影响烧蚀阈值的一个重要因素。
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