Si_3N_4栅氢离子敏感场效应晶体管性能研究

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我们采用疏水性和化学稳定性好且易于制作的Si_3N_4作H~+—ISFET敏感材料,对Si_3N_4栅H~+—ISFET的电化学性能进行了较为仔细的测试工作,针对目前离子敏感器件普遍存在的温漂、时漂、重复性差等问题作了一定的试验工作。 Si_3N_4栅H~+—ISFET的管芯制作采用半导 We use the H_ + -ISFET sensitive material of Si_3N_4, which is good in hydrophobicity and chemical stability and easy to make, to conduct a more careful test on the electrochemical performance of Si_3N_4 gate H ~ + -ISFET. In view of the ubiquity of ion sensitive devices The temperature drift, drift time, poor repeatability and other issues made some experimental work. Si_3N_4 gate H ~ + -ISFET die made of semiconductors
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