电子束作用下铜铍打拿极表面氧化铍分解的俄歇分析

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铜铍合金为打拿极的 Allen 型电子倍增器,作为一个可检测微弱电子流与离子流的器件,已广泛应用于质谱仪、俄歇电子谱仪等装置中。它具有高增益、低噪声、耐中毒和使用方便等特点。铜铍打拿极是用含约2%的铍的铜铍合金片制成。在低压氧气氛中高温加热激活,形成二次电子发射系数较高的表面,已证明氧化铍薄膜是铜铍打拿极的主要二次发射 The copper-beryllium alloy is a dynode type Allen electron multiplier that has been widely used as a mass spectrometer, Auger electron spectrometer and the like as a device capable of detecting weak electron current and ion current. It has high gain, low noise, poisoning and easy to use and so on. The beryllium bezel is made of a copper beryllium alloy sheet containing about 2% beryllium. In the low-pressure oxygen atmosphere heated at high temperature activation, the formation of secondary electron emission coefficient higher surface, beryllium oxide thin film is proved to be the main secondary beryllium copper emitter
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