【摘 要】
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提出了一种用于电化学刻蚀(ECE)分析的可编程高压电源实现方案。利用MAX038作为波形发生器,采用P89LPC936 MCU进行控制。电源的输出频率可达2 kHz,电压峰—峰值可达8000 V。由
【机 构】
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青岛大学软件技术学院,山东科技大学泰安校区
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提出了一种用于电化学刻蚀(ECE)分析的可编程高压电源实现方案。利用MAX038作为波形发生器,采用P89LPC936 MCU进行控制。电源的输出频率可达2 kHz,电压峰—峰值可达8000 V。由于系统采用了MCU控制,提高了电源的输出频率和电压的精度,增强了电源的可靠性,并具有工作数据的记录功能。
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