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采用射频磁控溅射技术制备出硼碳氮（BCN）薄膜。傅里叶红外吸收光谱（FTIR）测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合，扫描电子显微镜（SEM）测量发现样品与衬底间存在较大的内应力。样品剥落后，应力的消除使红外吸收峰向低波数移动。实验还发现，对新制备的硼碳氮薄膜进行600℃热处理能有效释放薄膜中的压应力。